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特点
·Z轴装有数显弧形标尺,可以提供更大的测量范围和更高的分辨率,从而不必再依靠测量倍率。
·可以应用数据分析系统(个人计算机和Formpak-1000软件)。
技术参数
X1轴
测量范围: 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 0.2,1mm/s外加手动
测量速度: 0.2,0.5mm/s
移动方向: 向后
直线度: 3.5μm/50mm(CV-1000),3.5μm/100mm(CV-2000);以X轴为水平方向上
指示精度(20°C时): ±(3.5+2L/100)μm
*L=驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45°(CV-2000)
Z1轴(立柱,仅用于CV-2000)
立柱类型: 电动(S4型)和手动(M4型)
垂直移动: 250mm(S4型),320mm(M4型)
驱动速度: 1-5mm/s外加手动
Z1轴(检测器)
测量范围: 25mm(CV-1000)或40mm(CV-2000)
分辨率: 0.4μm(CV-1000)或0.5μm(CV-2000)
检测方法: 弧形编码器
指示精度(20°C时): ±(3.5+|4H|/25)μm
*H为水平位置上的测量高度(mm)
测针上/下运作: 弧形运动
测针方向: 向下
测力: 10-30mN
跟踪角度: 向上:77°,向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖: 半径:25μm,硬质合金针尖
基座尺寸(WxH): 650x450mm(CV-2000)
基座材料: 花岗岩(CV-2000)
重量: 5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4)
电源: 100-240VAC±10%,50/60HZ |
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