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| 特点
·大幅度提高了驱动速度(X轴;80mm/s,Z2轴:20mm/s),近一步降低了总测量时间。
·为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
·大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。
·驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高精度线性编码器(Z2轴为ABS型)，从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位
工件的重复精度。
·X轴精度：±(0.8+0.01L)μm,Z1轴精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm,针对高精度工件的测量所设计。(*CV-4100S4,H4,W4型:L为驱
动长度,H为测量高度(mm))
·CV-4100系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，在Z轴(垂直方向)的窄/宽测量范围内，提供卓越的精度和分辨率。
技术参数
X轴
测量范围： 100mm或200mm
分辨率： 0.05μm
检测方法： 线性编码器
驱动速度： 0-80mm/s外加手动
测量速度： 0.02-5mm/s
测量方向： 向前/向后
直线度： 0.8μm/100inch,2μm/200mm;以X轴为水平方向上
指示精度(20°C时)： ±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S4,H8,W8)
*L=驱动长度(mm)
倾斜范围： ±45°
Z1轴(立柱,仅用于CV-2000)
垂直移动： 300mm或500mm
分辨率： 1μm
检测方法： ABSOLUTE线性编码器
驱动速度： 0-20mm/s外加手动
Z1轴(检测器)
测量范围： ±25mm
分辨率： 0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)
检测方法： 线性编码器(CV-3100),激光全息测微机(CV-4100)
指示精度(20°C时)： ±(2+|4H|/100)μm(CV-3100)
±(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4100)
*H为水平位置上的测量高度(mm)
测针上/下运作： 弧形运动
测针方向： 向下
测力： 30mN
跟踪角度： 向上:77°,向下:87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖： 半径:25μm,硬质合金针尖
基座尺寸(WxH)： 600x450mm或1000x450mm
基座材料： 花岗岩
重量 5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4)
主机： 140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4),140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8)
控制装置： 14kg
遥控箱： 0.9kg
电源： 100-240VAC±10%,50/60HZ
电源： 400W(仅限主机) |
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