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| 特点
·高精度CNC轮廓/形状测量装置。
·X1,(Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s,确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。
·带有α轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
·CV-4000CNC系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，可以在Z轴(垂直方向)的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。
·带有Y轴的工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。
·可以通过同时控制X,Y两轴，对斜面进行测量。
·Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检测器将自动停止。
·提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这连个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选
择状态。
·通过USB与数据处理/分析装置(选件)进行信息交换。
技术参数
X1轴
测量范围： 200mm
分辨率： 0.05μm
检测方法： 反射型线性编码器
驱动速度： 200mm/s(最大CNC),0-60mm/s(操纵杆)
测量速度： 0.02-2mm/s
测量方向： 向前/向后
直线度： 2μm/200mm;以X轴为水平方向上
指示精度(20°C时)： ±(1+4L/200)μm(CV-3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(CV-4000CNC)
*L=驱动长度(mm)
α轴
倾斜角度： -45°或+10°
分辨率： 0.000225°
倾斜范围： 6°/s
Z2轴(立柱)
垂直移动： 300mm或500mm
分辨率： 0.05μm
检测方法： 反射性线性编码器
驱动速度： 200mm/s(最大CNC),0-60mm/s(操纵杆)
基座尺寸（WxH）： 750x600mm
基座材料： 花岗岩
Z1轴(检测器)
测量范围： ±25mm
分辨率： 0.2μm(CV-3000CNC),0.05μm(CV-4000CNC)
检测方法： 线性编码器(CV-3000CNC),激光全息测微机(CV-4000CNC)
指示精度(20°C时)： ±(2+|4H|/100)μm(CV-3000CNC)
±(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4000CNC)
*H为水平位置上的测量高度(mm)
测针上/下运作： 弧形运动
测针方向： 向上/向下
测力： 30mN
跟踪角度： 向上:70°,向下:70°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖： 半径:25μm,硬质合金针尖
Y轴
测量范围： 200mm
分辨率： 0.05μm
驱动速度： 最大200mm/s(CNC模式);0-60mm/s(操纵杆控制模式)
台面最大承重： 20kg
直线度： 0.5μm/200mm
指示精度(20°C时)： ±(2-2L/100)μm
L=任意两点间的长度(mm)
重量： 240kg,250kg(高立柱型)(Y轴工作台与振动隔离站的重量除外)
电源： 100-240VAC±10%,50/60HZ
能耗： 500W(仅限主机) |
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