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| 特点
·高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
·X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
·X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率（X1轴分辨率:6.25nm,Z1轴分辨率:4nm/8nm）的轮廓/形状测
量、表面粗糙度的测量和批次测量。
·Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
·Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
·带有α轴型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
·带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
·提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状
态。
·通过USB端口与数据处理/分析器通信装置（选件）进行信息交换。
技术参数
X1轴
测量范围： 200mm
分辨率： 0.00625μm
检测方法： 激光全息光栅尺
驱动速度： 最大40mm/s(CNC模式);0-40mm/s(操纵杆控制模式)
测量速度： 0.02-0.2mm/s(表面粗糙度);0.02-2mm/s(形状/轮廓)
移动方向： 向前/向后
直线度： (0.1+0.0015L)μm使用标准测针;(0.2+0.0015L)μm使用二倍长型测针;
指示精度(20°C时)： ±(0.3+0.002L)μm
L为驱动长度(mm)
Z1轴
测量范围： 12mm(使用标准测针);24mm(使用二倍长型测针)
分辨率： 0.004μm(使用标准测针)
0.008μm(使用二倍长型测针)
0.001μm(使用标准测针)
(CS-H500CNC)
0.002μm(使用二倍长型测针)
(CS-H500CNC)
测针上/下运作： 弧形运动
检测方法： 激光全息光栅尺
指示精度(20°C时)： ±(0.3+|0.02H|)μm
H为测量高度(mm)
测力： 4mN(使用标准测针);0.75mN(使用二倍长型测针)
跟踪角度： 向上60°,向下60°(取决于表面粗糙度)
测针针尖：
(球型测针) 半径:5μm,角度:40°,金刚石
(半径:0.25mm,蓝宝石)
测针方向： 向下
Z2轴(立柱)
测量范围： 300mm
分辨率： 0.05μm
检测方法： 反射型线性编码器
驱动速度： 最大200mm/s(CNC模式)
0-50mm/s(操纵杆控制模式)
基座尺寸(WxD)： 750x600mm
基座材料： 花岗岩
Y轴*
测量范围： 200mm
分辨率： 0.05μm
驱动速度： 最大200mm/s(CNC模式)
0-50mm/s(操纵杆控制模式)
工件最大承重： 20kg
直线度： 0.5μm/100mm
指示精度(20°C时)： ±(2+2L/200)μm
L任意两点间的长度(mm)
尺寸(WxDxH)： 800x620x1000mm;(800x620x1200mm,高立柱型)
重量： 240kg(250kg:高立柱型) |
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